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利用电磁波（光波和微波）运载测距信号测量地面两点间距离的仪器。由照准头和控制器2部分组成。照准头内装有发射和接收光学系统以及调制器和光接收器电路；控制器内装有电子线路系统，操作面板上有各种按钮。电磁波测距仪与反光镜配套使用才能测距离。它通过测定电磁波往返传播过程中所花费的时间来测量两点间的距离。 电磁波测距仪分类：①按使用的载波可分为普通光电测距仪、红外测距仪、微波测距仪和激光测距仪。②按测距方式可分为脉冲式测距仪、相位式测距仪、脉冲相位式测距仪和干涉法测距仪。③按测程可分为测程小于5km的短程测距仪，测程为5～25km的中程测距仪，测程为25～150km的远程测距仪和测程大于150km的超远程测距仪。 随着测量仪器的发展，电磁波测距仪也得到了同步发展。早期的电磁波测距仪是采用白炽灯或高压水银灯作光源，体积大、测程短，操作和计算较为复杂，且只能在夜间作业。1947年瑞典的伯格斯特兰（E.Bergstrand）研制成第一台光电测距仪（Geodimeter 1），1948年开始实际应用于大地测量；1956年沃德利（T.L.Wadley）研制成第一台微波测距仪，首次实现了白昼作业，但它们的测距精度都不是很高。20世纪60年代以后，方向性、单色性和相干性好、亮度高的激光和红外光代替了普通光源作为载波，使电磁波测距仪变得较为轻巧，测程增大，精度亦有了很大提高。如瑞士克恩（Kern）厂1986年底生产了精密电磁波测距仪ME5000，其标称精度达±（0.2mm+0.2 ppm·D）。电磁波测距仪的自动化程度也在不断提高。
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