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用光电方法同时对水平角、高度角以及距离进行测量和数据处理的测量仪器，又称电子速测仪、电子全站仪。它将电子经纬仪、电磁波测距仪、计算机的主要部件集成在一起，配合测量软件，可代替各种经纬仪、测距仪进行控制测量、测图、施工放样以及变形观测。 全站仪分类：①按结构分类。全站仪可分为组合式和整体式两种类型。组合式全站仪是在电子经纬仪的结合器上装一个光电测距头；而整体式全站仪的电子经纬仪和测距仪是共用一个同轴望远镜。若将光电测距头与普通光学经纬仪组合，则称为半站仪或半站式速测仪。全站仪的测角部分与电子经纬仪完全相同。全站仪的测距部分则与电磁波测距仪的原理和方法完全相同。若采用脉冲式测距原理，则无需合作目标；若采用相位式测距原理，需要在被测点上设置反射棱镜，后者的应用更为广泛。②按功能分类。全站仪可分为普通型和全能型两种，两者的区别主要取决于全站仪中计算机的性能和配置的软件。普通型仅具有一般的微处理器、存储装置和输入输出接口，处理速度较慢、处理容量较小，所配置的软件功能较少，例如除一般的边角测量外，主要有极坐标法测量、悬高测量、跨距测量和施工放样等功能。若将普通型全站仪与高性能的掌上计算机相连接，再配置功能强大的应用软件，也可达到全能型全站仪的功能。全能型全站仪具有大容量内存、外存磁卡、高速的微处理器和与DOS或WINDOWS-CE兼容的操作系统，可运行DOS或WINDOWS—CE平台下编写的大型软件，具有分辨率较高、尺寸较大的显示屏幕和复杂的数据处理功能和图形显示功能，故又称电脑型全站仪。它除具有普通型全站仪所具有的各种功能外，还具有自由设站、道路测量、导线和控制网测量与平差等功能，可实现地面测量工程内外业作业一体化和数据处理自动化。
全站仪系列标准及相应精度全站仪型号表 
全站仪具有轴系倾斜自动补偿功能，可带激光发生器，用激光测距或用激光作照准目标。一些全站仪还带数据发射和接收装置。带有步进马达和CCD影像传感器的全站仪可自动识别、照准和跟踪目标，称为自动化全站仪或测量机器人，可实现无人操作的自动化测量。在全站仪上集成GPS接收机组成超站式集成测绘系统，可实现不需要分级和加密控制的即用即测模式。中国已能组装和自行生产中、低精度的全站仪，自行研制的超站式集成测绘系统也已问世。 全站仪系列标准及相应精度全站仪型号见表。
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